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ECR 플라즈마 스퍼터링 장치

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기관명	NDSL
출원인	한국기초과학지원연구원
출원번호	10-2016-0038253
출원일자	2016-03-30
공개번호	20160422
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명의 목적은, 종래 기술과 비교하여 고속으로 고성능 및 대면적의 박막이 용이하게 획득가능하고 타깃의 이용 효율이 높은 고효율 스퍼터링 장치를 제공하고자 하는 것으로서, 대상물에 박막을 형성하기 위한 장치로서, 회전 중심축을 중심으로 회전 가능한 실린더 형상의 타깃; 상기 타깃 주위에 스퍼터링을 위한 전력을 공급하도록 구성된 전원; 및 상기 타깃 주위에 ECR 플라즈마를 생성하기 위하여 상기 대상물과 상기 타깃 사이에 마이크로파를 도입하도록 구성된 2개의 마이크로파 도입부를 포함하여 이루어지고, 상기 2개의 마이크로파 도입부 각각은, 상기 타깃의 회전 중심축과 평행한 중심축을 갖는 실린더 형상으로 이루어져 상기 타깃을 중심으로 양 측면에 배치되며, 상기 대상물을 향하는 타깃 저부면 방향으로 마이크로파가 안내되도록 실린더의 길이에 걸쳐 장방향으로 형성된 슬릿을 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160038253
첨부파일

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