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전원 장치

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	도시바 미쓰비시덴키 산교시스템 가부시키가이샤
출원번호	10-2016-7008401
출원일자	2016-03-30
공개번호	20160510
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은, 플라즈마 발생 장치 및 전원 장치를 포함하는 시스템에서, 인버터의 구동 주파수를 자동적으로 결정하는 전원 장치를 제공한다. 본 발명에 관한 전원 장치(10)는, 전원 장치(10)와 플라즈마 발생 장치(5)와의 사이에서 공진 상태를 만들어 내는 공진 수단(7)과, 다음의 동작을 행하는 제어부(6)를 갖는다. 즉, 제어부(6)는, 정격 전력에 대해, 100%의 투입 전력치(또는, 100% 이하이고 임계치% 이상의 투입 전력치)가 지시된 때, 인버터 주파수를 변화시켜, 인버터 주파수마다, 인버터 출력 역률을 각각 구한다. 그리고, 제어부(6)는, 가장 높은 인버터 출력 역률이 되는 인버터 주파수에 의거하여, 인버터의 구동 주파수로서 결정한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167008401
첨부파일

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