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전원 장치

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기관명	NDSL
출원인	도시바 미쓰비시덴키 산교시스템 가부시키가이샤
출원번호	10-2016-7008407
출원일자	2016-03-30
공개번호	20160510
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은, 플라즈마 발생 장치 및 전원 장치를 포함하는 시스템에 있어서, 고장이 생긴 경우의 대책을 강구할 수 있고, 조기 복구를 가능하게 하는 전원 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 그리고, 본 발명은, 단락 전류를 억제하는 한류 리액터(Lc)와, 인버터(3)의 동작을 제어하는 제어부(6)와, 단락을 검지하는 검출부(31, 32, 41, 42)를, 구비하고 있다. 그리고, 제어부(6)는, 단락이 생긴 때, 인버터(3)를 정지시킨다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167008407
첨부파일

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