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멀티-패스 진공 코팅 시스템

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기관명	NDSL
출원인	엑사테크 엘.엘.씨.
출원번호	10-2016-7013276
출원일자	2016-05-19
공개번호	20160609
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은, 시스템을 통해 횡단하는 기판에 다중 코팅을 적용하는, 멀티-패스 코팅 시스템 및 방법을 제공한다.상기 시스템은, 시스템 내부에 대기압 미만의 압력을 정착시키도록 시스템에 결합되는 하나 이상의 진공 펌프를 포함한다.상기 시스템은 또한, 코팅층이 기판에 적용되는 하나 이상의 코팅 구역, 및 시스템 외부의 대기압과 시스템 내부의 대기압 미만의 압력 사이에서 통과하는 기판을 전환시키는 하나 이상의 트랜스퍼 록을 포함한다.시스템을 통해 기판을 이동시키기 위해서, 상기 시스템은 기판이 시스템으로부터 배출되기 전에 코팅 구역을 통해 2회 이상 기판을 이동시키도록 되어 있는 수송 메커니즘을 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167013276
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