| 기업공감원스톱서비스

유기 전자소자 제조를 위한 인쇄 공정 중에 막 두께 및 품질을 인라인으로 측정하는 방법

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	,
출원번호	10-2013-7030971
출원일자	2013-11-21
공개번호	20140403
공개일자	2016-04-22
등록번호	10-1614780-0000
등록일자	2016-04-18
권리구분	KPTN
초록	본 발명은 유기재료(도체, 반도체, 절연체), 혼성재료(유기재료/무기재료), 및 무기재료(금속, 산화물)의 박막 또는 다층 구조의 두께, 광학적 특성, 및 품질을, 분광 타원계측(SE)을 이용하여, 그 인쇄 중에 그리고/또는 R2R, S2S 공정에 의한 처리 중에 실시간으로 인라인 측정하는 것에 관한 것이다. SE 장치는 예컨대 롤의 이동을 기준으로 측방향으로 이동할 수 있는 이동대 위에 설치되어, 1.5~6.5 eV의 Vis-fUV 스펙트럼 영역에서 계측을 한다. 본 방법은 공기 중에서 또는 질소 등의 다른 가스 환경 내에서, 유연한 롤 또는 시트 상에서의 인쇄 및 표면 또는 체적 처리 공정을, 웹 또는 시트를 따라 그리고 웹 또는 시트를 가로질러서 실시간으로 인라인 감시하고 관리하는 데 사용할 수 있다. 이로써 유연한 인쇄형 유기 전자소자(유기 광전지, 유기 발광다이오드 등)의 생산시에 기능적 특성을 관리하고 조정할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020137030971
첨부파일

기업조회