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세라믹스 원통형 스퍼터링 타겟재 및 그 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	미쓰이금속광업주식회사
출원번호	10-2016-7022127
출원일자	2016-08-12
공개번호	20160825
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은, 길이가 500㎜ 이상이며 상대 밀도가 95% 이상이며, 일체품인 것을 특징으로 하는 세라믹스 원통형 스퍼터링 타겟재이다.본 발명의 세라믹스 원통형 스퍼터링 타겟재는, 고밀도이며 500㎜ 이상의 길이를 갖는 일체품이므로, 다수의 스퍼터링 타겟재를 중첩하여 장척으로 하여 사용할 필요가 없다.이 때문에, 마그네트론 회전 캐소드 스퍼터링 장치 등에 있어서 본 발명의 세라믹스 원통형 스퍼터링 타겟재를 사용하는 경우, 타겟재 전체에 분할부가 존재하지 않거나, 또는 그 수가 적으므로, 스퍼터링 중에 아킹이나 파티클의 발생이 적다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167022127
첨부파일

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