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감방사선성 조성물 및 패턴 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤
출원번호	10-2016-7007028
출원일자	2016-03-17
공개번호	20160428
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	감도, 보존 안정성, 도포성, 현상성, 및 안전성이 우수하고, 노광 및 현상에 의해, 이물의 발생이 억제된 패턴을 형성할 수 있는 감방사선성 조성물 및 그것을 사용한 패턴 제조 방법을 제공한다. 본 발명에 관련된 감방사선성 조성물은, 하기 일반식 (1) 로 나타내는 화합물을 함유한다. 식 중, R 1 은, 수소 원자 또는 하이드록실기를 나타내고, R 2 및 R 3 은, 독립적으로 수소 원자 또는 C 1 ∼ C 3 의 알킬기를 나타내고, R 4 및 R 5 는, 독립적으로 C 1 ∼ C 3 의 알킬기를 나타낸다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167007028
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