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임프린트 방법 및 임프린트 장치

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기관명	NDSL
출원인	다이니폰 인사츠 가부시키가이샤
출원번호	10-2016-7017546
출원일자	2016-06-30
공개번호	20160714
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	잉크젯법에 의해 피전사 기판에 도포되는 광경화성 수지의 휘발을 억제하고, 전사시의 수지의 번짐을 양호하게 유지하고, 전사 환경의 청정함을 유지하고, 전사에 적합한 특정한 기체로 전사 환경을 채울 수 있는 임프린트 방법 및 임프린트 장치를 제공한다.요철의 패턴이 형성된 템플릿을 이용하여 피전사 기판 상의 광경화성 수지에 상기 템플릿의 패턴을 임프린트하여 전사하는 임프린트 방법으로서, 상기 템플릿과 상기 광경화성 수지가 접촉하는 공간부에, 임프린트를 하고 있지 않은 대기시에는 송풍구로부터 상기 공간부에 클린에어를 보내오고, 임프린트시에는 상기 공간부의 클린에어의 유량을 저감시키거나 또는 클린에어를 보내오지 않는 것을 특징으로 한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167017546
첨부파일

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