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레이저 가공방법 및 레이저 가공장치

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기관명	NDSL
출원인	미츠비시 쥬고교 가부시키가이샤
출원번호	10-2016-7003704
출원일자	2016-02-12
공개번호	20160317
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	금속층(102)에 보호층(104)이 적층된 가공 대상물(100)을, 단펄스 레이저(L2)를 적어도 조사하는 레이저 가공헤드를 이용하여, 가공 대상물(100)을 가공하는 레이저 가공방법으로서, 보호층(104)에 단펄스 레이저(L2)를 조사하여, 보호층(104)을 절삭하는 단펄스 레이저 가공공정과, 단펄스 레이저 가공공정에서 절삭한 영역의 금속층(102)을 절삭하는 금속층 가공공정에 의하여, 고품질로 또한 고정밀도로 가공하는 것을 가능하게 한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167003704
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