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표면 코팅

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기관명	NDSL
출원인	유로플라즈마 엔브이
출원번호	10-2016-7018570
출원일자	2016-07-11
공개번호	20160818
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	미코팅 인쇄회로기판 상의 솔더-관통 고분자 코팅 증착 공정에 관한 것이고, 캐리어 가스에 의하여 상기 중합 챔버에 주입되는 유기실란 전구체 단량체의 중합 챔버에서 평균 저전력 및 저압 플라스마 중합을 이용하는 것을 포함하고, 상기 유기실란은 화학식 Y1-X-Y2 (I) 또는 -[Si(CH3)2-X-]n- (II)의 유기실란이고, 여기서: X는 O 또는 NH이고; Y1은 - Si(Y3)(Y4)Y5이고; Y2는 Si(Y3')(Y4')Y5'이고; Y3, Y4, Y5, Y3', Y4', 및 Y5'는 각각 독립적으로 H 또는 최대 10 탄소 원자의 알킬기이고; 화학식 (II)의 단량체는 환형이고 여기서 n은 2 내지 10이고, 여기서 Y3, Y4 및 Y5 중 최대 하나가 수소이고, Y3', Y4' 및 Y5' 중 최대 하나가 수소이고, 탄소 원자의 총 수는 20 이하임.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167018570
첨부파일

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