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검사 데이터와 조합하여 설계 데이터를 활용하는 방법 및 시스템

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기관명	NDSL
출원인	케이엘에이-텐코 코포레이션
출원번호	10-2017-7029140
출원일자	2017-10-11
공개번호	20171026
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	검사 데이터와 조합하여 설계 데이터를 활용하는 각종 방법 및 시스템이 제공된다.설계 데이터 스페이스 내의 검사 데이터의 위치를 결정하기 위한 하나의 컴퓨터-구현 방법은, 웨이퍼 상의 정렬 사이트에 대해 검사 시스템에 의해 취득된 데이터를 소정의 정렬 사이트에 대한 데이터와 정렬하는 단계를 포함한다.상기 방법은 설계 데이터 스페이스 내의 소정의 정렬 사이트의 위치에 기초하여 설계 데이터 스페이스 내의 웨이퍼 상의 정렬 사이트의 위치를 결정하는 단계를 또한 포함한다.또한, 상기 방법은 설계 데이터 스페이스 내의 웨이퍼 상의 정렬 사이트의 위치에 기초하여 설계 데이터 스페이스 내의 검사 시스템에 의해 웨이퍼에 대하여 취득된 검사 데이터의 위치를 결정하는 단계를 또한 포함한다.일 실시예에서, 검사 데이터의 위치는 서브-픽셀 정확도로 결정된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020177029140
첨부파일

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