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화학기상증착 탄화규소의 전기 저항 조절 방법

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기관명	NDSL
출원인	하나머티리얼즈(주)
출원번호	10-2015-0124239
출원일자	2015-09-02
공개번호	20160616
공개일자	2016-06-09
등록번호	10-1628691-0000
등록일자	2016-06-02
권리구분	KPTN
초록	본 발명은 탄화규소를 제조하는 화학기상증착 과정 중에서, 반응가스의 조성을 최적 비율로 제어하여 원하는 수준의 전기 저항값을 갖도록 제어하면서도, 기계적 강도와 내구성이 우수한 탄화규소를 제조하는 방법 및 이러한 방법으로 제조된 반도체 공정용 탄화규소 제품을 제공하기 위한 것으로, 화학기상증착 탄화규소의 높은 기계적 강도를 유지하면서도 전기저항을 효과적으로 제어할 수 있으며, 불순물의 농도가 낮게 유지되면서도 적절한 화학기상증착 속도를 유지함으로써, 보다 효과적인 탄화규소 부품의 제조가 가능한 장점이 있다. 또한, 본 발명의 저항조절 방법으로 제조된 탄화규소 부품은, 탄화규소 내의 질소 이온의 농도가 상대적으로 낮게 유지됨으로써, 고내열성 및 고밀도를 유지할 수 있을 뿐만 아니라 기계적 강도(휩강도, 미소강도 등)가 높게 유지되는 효과가 있으며, 전기 전도성을 향상시켜 방전 가공 특성이 우수한 효과가 있다
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020150124239
첨부파일

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