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자기 메모리용 프로버 척 및 이를 구비한 자기 메모리용 프로버

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기관명	NDSL
출원인	토에이 과학 산업 주식회사
출원번호	10-2015-7023933
출원일자	2015-09-02
공개번호	20150917
공개일자	2016-08-10
등록번호	10-1642749-0000
등록일자	2016-07-20
권리구분	KPTN
초록	자장이 인가되는 환경하에 있어서 자기 메모리의 저리크 평가(low-leak evaluation)를 실시 가능한 프로버 척(prober chuck)을 제공한다. 자기 메모리용 프로버 척(1)은, 자기 메모리가 형성된 웨이퍼(W)를 지지한다. 척(1)은, 도전재료로 형성되어 웨이퍼(W)가 탑재되는 척 탑(chuck top)(10)과, 절연재료로 형성되어 척 탑(10)의 저면을 지지하는 절연층(11)과, 도전재료로 형성되는 동시에 절연층(11)의 아래쪽에 배치되어 절연층(11)에 의해 척 탑(10)과 절연되어 있는 가드층(12)을 가진다. 척 탑(10) 및 가드층(12)을 포함하는 척(1)을 구성하는 모든 부재는 비자성체로 구성되어 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020157023933
첨부파일

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