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강유전체 커패시터 및 그 패턴화 방법

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기관명	NDSL
출원인	케플러 컴퓨팅 인크.
출원번호	10-2024-7026738
출원일자	2024-08-08
공개번호	20240822
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	강유전체 커패시터는 에칭된 제1 및 제2 전극들 위에 비전도성 유전체를 컨포멀 퇴적하고, 비전도성 유전체의 선택적 부분 위에 금속 캡 또는 헬멧을 형성함으로써 형성되며, 금속 캡은 비전도성 유전체의 측벽들의 부분들에 합치된다.금속 캡은 비전도성 유전체의 선택적 부분 위에 금속 마스크를 선택적으로 퇴적하기 위해 지표 각도로 물리 기상 증착을 적용함으로써 형성된다.금속 캡은 또한 조정된 에칭 속도로 이온 주입을 적용함으로써 형성될 수 있다.방법은 비전도성 유전체가 제1 및 제2 전극들의 측벽들 상에 남아 있지만 제3 및 제4 전극들 상에 남아 있지 않도록 금속 캡 및 비전도성 유전체를 동위원소 에칭하는 단계를 추가로 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020247026738
첨부파일

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