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특허/실용신안
스퍼터링용 원판패널 고정 장치 및 방법
특허 실용신안 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 출원인 | 주식회사 유아이디 |
| 출원번호 | 10-2015-0172120 |
| 출원일자 | 2015-12-04 |
| 공개번호 | 20160714 |
| 공개일자 | 2016-07-11 |
| 등록번호 | 10-1638344-0000 |
| 등록일자 | 2016-07-05 |
| 권리구분 | KPTN |
| 초록 | 본 발명은 스퍼터링용 원판패널 고정 장치 및 방법에 관한 것으로, 실런트로 마감 및 돌출된 패널 테두리부를 가지면서 복수의 셀로 구획될 수 있는 원판패널을 고정하도록, 상기 원판패널의 정면에 배치되고, 상기 셀 각각의 상변, 하변, 양측변에 인접하여 두께 방향으로 관통된 제 1 슬릿을 갖는 상판지그; 상기 상판지그의 좌우 방향으로 연장되어 있고, 상기 상판지그의 배면에서 상하 방향으로 이격되어 다수의 행을 이루면서 탈부착 가능하게 결합되고, 상기 제 1 슬릿에 대응하는 위치에서 상기 제 1 슬릿보다 작게 형성되어 있는 제 2 슬릿을 구비하는 마스크스트립; 상기 원판패널의 배면을 지지하는 정면에 상기 각 셀별 복수개의 폐쇄형 셀 영역 및 개방형 셀 영역이 형성되어 있고, 배면에 간격을 두고 배치된 복수개의 자성체가 교체 가능하게 결합되어 있는 하판지그를 포함하고, 상기 제 1 슬릿과 상기 상판지그의 상면 사이에서 상기 제 1 슬릿의 평면적보다 큰 면적의 단차부가 형성되어 있다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020150172120 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| IPC분류체계CODE | C23C-014/50,C23C-014/00,C23C-014/34,C23C-014/54 |
| 주제어 (키워드) |