| 초록 |
포토리소그래픽 레티클을 검사하기 위한 방법 및 장치가 개시된다.근역장 레티클 이미지는 설계 데이터베이스로부터 생성되는 레티클 데이터베이스 이미지에 기반한 심층 학습 프로세스를 통해 생성되며, 원역장 레티클 이미지는 검사 시스템의 이미지 평면에서 근역장 레티클 이미지에 기반한 물리 기반 프로세스를 통해 시뮬레이션된다. 심층 학습 프로세스는 원역장 레티클 이미지들과, 설계 데이터베이스로부터 제조되는 트레이닝 레티클을 이미징함으로써 획득된 복수의 대응하는 트레이닝 레티클 이미지들 간의 차이들을 최소화하는 것에 기반하여, 심층 학습 모델을 트레이닝하는 것을 포함하고, 이러한 트레이닝 레티클 이미지들은 패턴 다양성을 위해 선택되고 무결함성이다. 설계 데이터베이스로부터 제조되는 테스트 레티클의 테스트 구역은 다이-대-데이터베이스 프로세스를 통해 결함들에 대해 검사되며, 다이-대-데이터베이스 프로세스는 참조 원역장 레티클 이미지로부터의 복수의 참조 이미지를 검사 시스템에 의해 테스트 레티클로부터 획득되는 복수의 테스트 이미지와 비교하는 것을 포함한다. 참조 원역장 레티클 이미지는 트레이닝된 심층 학습 모델에 의해 생성된 참조 근역장 레티클 이미지에 기반하여 시뮬레이션된다. |
