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모듈형 형상 가변 거울 제조방법

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기관명	NDSL
출원인	엘아이지넥스원(주)
출원번호	10-2019-0066212
출원일자	2019-06-04
공개번호	20200123
공개일자	2020-01-20
등록번호	10-2068167-0000
등록일자	2020-01-14
권리구분	KPTN
초록	본 발명은 MLCC공법을 이용하여 구현한 일체형 구동기 기술을 적용한 모듈형 형상 가변 거울의 제조방법에 관한 것, 종래의 개별적 구동기를 적용한 형상 가변 거울에서 존재하고 있는 각 구동기를 정렬하고, 본딩하는 과정에서 수 um 이상의 차이가 발생함으로써 규격화가 어렵고, 각 제품마다 편차가 매우 큰 문제점을 해결하기 위하여 다수의 구동기 모듈을 이용하여 소형화 및 고밀도화가 가능한 모듈형 형상 가변 거울을 제조할 수 있는 방법을 개발하는데 그 목적이 있으며, 종래의 개별적 구동기를 적용한 형상 가변 거울과 대비하여 각 구동기를 결합하는 과정에서의 차이가 발생할 가능성이 매우 적고, 제조방법의 규격화가 용이하여 제작되는 제품의 편차가 매우 적으므로 소형화 및 고밀도화가 가능함은 물론, 이에 따라 천문관측 및 우주물체 촬영 영상의 품질 향상, 레이저의 장거리 전송 품질 향상, 광 집속 품질 향상되는 효과를 제공할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020190066212
첨부파일

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