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웨이퍼의 양면 연마 방법 및 이것을 이용한 에피택셜 웨이퍼의 제조 방법 그리고 에피택셜 웨이퍼

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 사무코
출원번호	10-2018-7017434
출원일자	2018-06-20
공개번호	20180726
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	(과제) 웨이퍼의 양면 연마시에 소망하는 에지 롤 오프를 의도적으로 만드는 것이 가능한 양면 연마용 캐리어 및 이것을 이용한 웨이퍼 연마 방법, 그리고, 그러한 양면 연마 가공이 실시된 웨이퍼를 이용하여 이면의 평탄도가 높아진 에피택셜 웨이퍼를 제조하는 것이 가능한 에피택셜 웨이퍼의 제조 방법을 제공한다. (해결 수단) 양면 연마용 캐리어(10)는, 연마포(4, 5)가 각각 접착된 상 정반(2)과 하 정반(3)의 사이에 설치되고, 상 정반(2)과 하 정반(3)의 사이에 끼워진 웨이퍼(W)를 보유지지하기 위한 보유지지공(10a)을 갖는 것으로서, 보유지지공(10a)의 상측 코너 및 하측 코너 중 적어도 한쪽에 모따기부(12c)가 형성되어 있다.그리고 이 양면 연마용 캐리어(10)를 이용하여 제조된 실리콘 웨이퍼를 이용하여 에피택셜 실리콘 웨이퍼를 제조한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020187017434
첨부파일

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