| 초록 |
본 발명은 기판을 이송하는 장치 및 기판을 이송하는 방법으로서, 내부에 대기압 상태의 기판 이송 공간을 가지는 기판 이송 모듈과, 상기 기판 이송 모듈의 측벽에 형성되어 상기 기판 이송 모듈의 외부장치와 상기 기판 이송 모듈 사이에서 기판을 이송하기 위해 상기 기판의 적어도 세 곳 이상과 접촉하는 접촉 패드를 가지는 블레이드를 포함하는 대기압 로봇암 및 상기 게이트 주변에 상하 방향으로 서로 대향되는 적어도 두 개 이상의 발광 센서와 수광 센서를 포함하는 틀어짐 보정부를 포함하는 기판 이송 장치를 이용한 기판 이송 방법에 있어서, 상기 외부 장치로부터 상기 블레이드 상에 기판을 안착시키는 과정; 상기 대기압 로봇암의 구동에 의한 기판 이송 시, 상기 발광 센서와 수광 센서 사이를 통과할 때의 광투과 변환 상태를 측정하는 과정; 상기 기판이 정해진 위치 경로를 벗어나는 경우, 측정된 광투과 변환 상태를 이용하여 이송되는 기판의 틀어짐을 보정하는 틀어짐 보정 과정;을 포함하는 것을 특징으로 하고, 블레이드의 접촉 패드 상에 기판을 안착시켜 기판을 이송함으로써, 물리적인 가압에 의해 발생할 수 있는 기판 손상 및 파티클 발생을 방지할 수 있다. |
