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광학 기판, 반도체 발광 소자 및 반도체 발광 소자의 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	아사히 가세이 이-매터리얼즈 가부시키가이샤
출원번호	10-2014-7025962
출원일자	2014-09-17
공개번호	20141127
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	광학 기판(1)은, 독립된 복수의 볼록부(131∼134)와, 각 볼록부(131∼134) 사이에 형성된 오목부(14)를 포함하는 요철 구조(12)가, 표면에 형성되어 있다. 요철 구조(12)의 인접하는 볼록부(131∼134) 사이의 평균 간격(Pave)이, 50 nm≤Pave≤1500 nm를 만족하며, 또한, 평균 볼록부 높이(Have)에 대하여 0.6 h≥hn≥0 h를 만족하는 볼록부 높이(hn)를 갖는 볼록부(133)가, 1/10000≤Z≤1/5를 만족하는 확률(Z)로 존재한다. 광학 기판(1)을 반도체 발광 소자에 이용하면, 반도체층 중의 전위를 분산화하고 전위 밀도를 감소시킴으로써, 내부 양자 효율(IQE)을 개선하면서, 광산란에 의해 도파 모드를 해소하여 광 추출 효율(LEE)을 높이고, 반도체 발광 소자의 발광 효율이 향상된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020147025962
첨부파일

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