| 기업공감원스톱서비스

묘화 장치, 및 물품의 제조 방법

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	캐논 가부시끼가이샤
출원번호	10-2013-0146917
출원일자	2013-11-29
공개번호	20140612
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	제1 그리드와 연관된 제1 화상 데이터에 기초하여 복수의 하전 입자 빔으로 기판에 묘화를 행하는 묘화 장치는, 복수의 블랭커를 각각 포함하는 복수의 열을 포함하는 블랭커 어레이; 상기 블랭커 어레이에 의해 블랭킹되지 않은 하전 입자 빔 중 하나 이상을 편향시켜, 이 편향된 입자 빔이 상기 기판을 주사 방향으로 주사하도록 구성된 주사 편향기; 상기 복수의 열의 각각에 대해 주기적으로 상기 블랭커 어레이를 순차 구동해서, 상기 주사 방향으로 상기 제1 그리드로부터 변위되는 상기 기판 위에 제2 그리드를 규정하도록 구성된 구동 회로; 및 상기 제1 그리드와 연관된 상기 제1 화상 데이터에 대한 보간 처리를 행함으로써 상기 제2 그리드 위에 제2 화상 데이터를 생성하고, 상기 제2 화상 데이터에 기초하여 상기 구동 회로를 제어하도록 구성된 제어기를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020130146917
첨부파일

기업조회