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반도체 장치

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼
출원번호	10-2016-7017512
출원일자	2016-06-29
공개번호	20160728
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	산화물 반도체막을 포함하는 트랜지스터에 있어서, 구리(Cu)를 함유하는 금속막이 배선, 신호선 등에 사용되는 신규한 반도체 장치가 제공된다.상기 반도체 장치는 절연면 상에 도전성을 갖는 산화물 반도체막과, 상기 도전성을 갖는 산화물 반도체막과 접하는 도전막을 포함한다.상기 도전막은 Cu-X 합금막(X는, Mn, Ni, Cr, Fe, Co, Mo, Ta, 또는 Ti이다)을 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167017512
첨부파일

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