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재순환 기판 용기 퍼지 시스템 및 방법

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기관명	NDSL
출원인	,
출원번호	10-2016-7018374
출원일자	2016-07-08
공개번호	20160825
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 반도체 기판의 용기에 대한 퍼지 가스의 소비를 감소하기 한 방법 및 시스템에 관한 것이다. 재순환 퍼지 시스템은 기판 용기로부터의 가스 흐름을 여과 및 정제, 로드 포트로부터의 가스 흐름을 수용, 또는 재순환 탱크를 포함하는것에 의해 기판 용기로 다시 퍼지 가스를 재순환한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167018374
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