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구조체의 관심 파라미터 값의 재구성의 품질을 평가하는 방법, 검사 장치 및 컴퓨터 프로그램 제품

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기관명	NDSL
출원인	에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
출원번호	10-2016-7006435
출원일자	2016-03-10
공개번호	20160422
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 구조체의 관심 파라미터 값의 재구성의 품질을 평가하는 방법, 검사 장치 및 컴퓨터 프로그램에 관한 것이며, 이는 예를 들어 미세 구조체들의 메트롤로지에 적용될 수 있다.재구성된 값이 리소그래피 공정을 모니터링 및/또는 제어하는데 사용될 때, 재구성이 구조체의 관심 파라미터(예를 들어, CD)의 정확한 값을 제공하는 것이 중요하다.이는 구조체들의 파라미터들의 재구성된 값들을 이용하여 구조체들의 관심 파라미터의 값들을 예측하고(804), 관심 파라미터의 재구성된 값들 및 관심 파라미터의 예측된 값들을 비교함으로써(805), 주사 전자 현미경의 사용을 요구하지 않는 구조체의 관심 파라미터의 값의 재구성(803)의 품질을 평가하는 방식이다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167006435
첨부파일

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