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연마패드의 평가방법 및 웨이퍼의 연마방법

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	신에쯔 한도타이 가부시키가이샤
출원번호	10-2016-7006400
출원일자	2016-03-10
공개번호	20160519
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은, 웨이퍼를 연마하기 위한 연마패드의 라이프를 평가하는 연마패드의 평가방법으로서, 상기 연마패드 상에 퇴적된 연마잔사의 양을 측정하고, 이 측정한 측정값에 기초하여 상기 연마패드의 라이프를 평가하는 것을 특징으로 하는 연마패드의 평가방법이다.이에 따라, 연마패드의 라이프를 즉시 평가할 수 있고, 웨이퍼를 연마할 때의 생산성 및 수율의 저하를 억제할 수 있는 연마패드의 평가방법 및 웨이퍼의 연마방법이 제공된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167006400
첨부파일

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