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플라즈마 장치용 부품 및 그 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	,
출원번호	10-2016-7013890
출원일자	2016-05-25
공개번호	20160630
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	금속 또는 세라믹스를 포함하는 기재와, 이 기재 상의 최표면에 형성된 질화 알루미늄 피막을 포함하고, 충격 소결법에 의해 형성된 입경이 1㎛ 이하인 미소 입자를 포함하는 질화 알루미늄 피막을 갖는 플라즈마 장치용 부품에 있어서, 상기 질화 알루미늄 피막의 두께가 10㎛ 이상이고, 막 밀도가 90% 이상이며, 질화 알루미늄 피막의 단위 면적 20㎛×20㎛ 중에 존재하는 입계를 확인할 수 있는 질화 알루미늄 입자의 면적률이 0 내지 90%인 한편, 입계를 확인할 수 없는 질화 알루미늄 입자의 면적률이 10 내지 100%인 것을 특징으로 하는 플라즈마 장치용 부품이다.상기 구성에 의하면, 플라즈마 어택 및 라디칼 어택에 강한 내성을 갖는 질화 알루미늄 피막을 갖는 플라즈마 장치용 부품 및 그 제조 방법을 제공할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167013890
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