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플라즈마 장치용 부품 및 그 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	,
출원번호	10-2016-7013892
출원일자	2016-05-25
공개번호	20160630
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	충격 소결법에 의해 형성된 입경이 1㎛ 이하인 미소 입자를 포함하는 산화이트륨 피막을 갖는 플라즈마 장치용 부품에 있어서, 산화이트륨 피막에는 1 내지 8질량%의 La, Ce, Sm, Dy, Gd, Er, Yb로부터 선택된 란타노이드계 원소의 산화물을 함유한 피막을 갖고, 피막의 두께가 10㎛ 이상이고, 피막의 밀도가 90% 이상이고, 피막의 단위 면적 20㎛×20㎛ 중에 존재하는 입계를 확인할 수 있는 입자가 면적률로 0 내지 80%인 한편, 입계가 결합한 입자의 면적률이 20 내지 100%인 것을 특징으로 하는 플라즈마 장치용 부품 및 그 제조 방법이다.상기 구성에 따르면, 플라즈마 공정 중에 파티클의 발생을 안정되게 또한 유효하게 억제하고, 생산성의 저하나 에칭이나 성막 비용의 증가를 억제함과 함께, 미세한 파티클의 발생을 억제하여, 불순물에 의한 제품의 오염을 방지하는 것을 가능하게 한 플라즈마 장치용 부품 및 그 제조 방법을 제공할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167013892
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