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스퍼터링용 탄탈제 코일의 재생 방법 및 그 재생 방법에 의해서 얻어진 탄탈제 코일

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기관명	NDSL
출원인	제이엑스금속주식회사
출원번호	10-2016-7013884
출원일자	2016-05-25
공개번호	20160616
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	기판과 스퍼터링 타깃 사이에 배치하는 스퍼터링용 탄탈제 코일의 재생 방법으로서, 사용이 끝난 탄탈제 코일을 코일 전체면 혹은 일부를 절삭 가공에 의해서, 일면 인장 (리데포지션막 및 널링 가공흔이 없어질 때까지 절삭) 하여 스퍼터링 중에 형성된 리데포지션막을 제거하고, 그 후 절삭된 지점에 새롭게 널링을 실시하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링용 탄탈제 코일의 재생 방법에 관한 것이다. 스퍼터링 중에, 기판과 스퍼터링 타깃 사이에 배치된 탄탈제 코일 표면에 스퍼터 입자가 퇴적 (리데포지션) 되는데, 스퍼터링 종료 후에, 이 사용이 끝난 코일에 퇴적된 스퍼터 입자를 절삭에 의해서 제거하여 탄탈제 코일을 효율적으로 재생하는 것으로서, 이로써 신코일 제작의 비경제성을 배제하고, 생산성을 향상시켜 동 코일을 안정적으로 제공할 수 있는 기술을 제공하는 것을 과제로 한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167013884
첨부파일

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