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특허/실용신안

물리 기상 증착 반응기

특허 실용신안 개요

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명 NDSL
출원인 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호 10-2013-7005582
출원일자 2013-03-04
공개번호 20130419
공개일자 2014-03-20
등록번호 10-1376671-0000
등록일자 2014-03-14
권리구분 KPTN
초록 물리 기상 증착 반응기는 측벽, 천장 및 진공 챔버의 플로어 부근에 위치한 웨이퍼 지지 페디스털을 포함하는 진공 챔버, 이 진공 챔버에 커플링된 공정 가스 입구, 및 이 공정 가스 입구에 커플링된 공정 가스 소스를 포함한다.금속 스퍼터링 타깃은 천장에 위치하며, 이 금속 스퍼터링 타깃에는 고전압 DC 소스가 커플링된다.금속 스퍼터링 타깃에는 RF 플라즈마 소스 파워 제너레이터가 커플링되는데, 이 RF 플라즈마 소스 파워 제너레이터는 운동 전자를 여기시키는데 적합한 주파수를 갖는다.바람직하게, 웨이퍼 지지 페디스털이 정전 척을 포함하며, RF 플라즈마 바이어스 파워 제너레이터는 플라즈마 이온에 에너지를 커플링시키는데 적합한 주파수를 갖는 웨이퍼 지지 페디스털에 커플링된다.바람직하게, 약 0.5 인치를 초과하는 직경을 갖는 고체 금속 RF 공급 로드가 금속 스퍼터링 타깃과 맞물리며, RF 공급 로드는 천장을 통해 금속 스퍼터링 타깃 위로 축방향으로 연장되고 RF 플라즈마 소스 파워 제너레이터에 커플링된다.
원문URL http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020137005582
첨부파일

추가정보

과학기술표준분류, ICT 기술분류, IPC분류체계CODE, 주제어 (키워드) 순으로 구성된 표입니다.
과학기술표준분류
ICT 기술분류
IPC분류체계CODE B01J-019/08,B01J-019/12,C23C-014/35
주제어 (키워드)