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기판 온도 측정을 위한 가스 결합된 프로브

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기관명	NDSL
출원인	베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크.
출원번호	10-2016-7009241
출원일자	2016-04-07
공개번호	20160519
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	반도체 디바이스 제조 동안에 기판의 온도를 측정하기 위한 낮은 압력 온도 센서가 전반적으로 설명된다. 다양한 실시예들이 플래튼의 유전체 플레이트내에 배치된 개구를 갖는 가스 챔버로서, 가스 챔버내 개구 둘레에 배치된 시일로 가스 챔버내 개구가 기판에 맞닿아 밀봉될 수 있는, 상기 가스 챔버를 설명한다. 더욱이, 온도 센서 및 스프링이 가스 챔버내에 배치되고, 스프링은 온도 센서를 기판과 접촉하게 하기 위해 편향된다. 추가적으로, 기판과 온도 센서 사이에서 열 전도도를 증가시키기 위해서 낮은 압력 가스로 가스 챔버를 가압하도록 구성된 가스 소스가 제공된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167009241
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