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노광 장치 및 디바이스 제조 방법, 그리고 노광 장치의 제어 방법

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 니콘
출원번호	10-2016-7019452
출원일자	2016-07-18
공개번호	20160728
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	노광 장치 (EX) 는, 투영 광학계 (PL) 와 액체 (1) 를 통해서 패턴 이미지를 기판 (P) 상에 투영함으로써 기판 (P) 을 노광한다. 노광 장치 (EX) 는, 투영 광학계 (PL) 와 기판 (P) 사이에 액체 (1) 를 공급하는 액체 공급 기구 (10) 를 구비하고 있다. 액체 공급 기구 (10) 는, 이상이 검출되었을 때에 액체 (1) 의 공급을 정지한다. 액침 영역을 형성하는 액체의 누설에 의해 기판 주변의 장치ㆍ부재가 받는 영향을 억제하여, 양호하게 노광 처리할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167019452
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