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거리에 있어서 차이들을 기록하기 위한 광학 측정 장치 및 광학 측정 방법

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기관명	NDSL
출원인	프레시텍 옵트로닉 게엠베하
출원번호	10-2016-7000139
출원일자	2016-01-05
공개번호	20160218
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 원래 위치에서 지지부(8)와 측정되어야 하는 물체(12)의 모서리 영역(10) 사이의 거리에 있어서 차이(6)를 획득하기 위한 광학 측정 장치에 관한 것이다. 이 광학 측정 장치는 상기 지지부(8)로 제1 측정 빔(16)을 안내하고, 측정되어야 하는 상기 물체(12)의 모서리 영역(10)으로 제2 측정 빔(18)을 안내하는 듀얼 빔 가이드(15)를 가지는 측정 헤드를 가진다. 상기 지지부(8)로 안내되는 상기 제1 측정 빔(16) 및 측정되어야 하는 상기 물체(12)의 상기 모서리 영역(10)으로 안내되는 상기 제2 측정 빔(18)의 반사 스펙트럼을 획득하고 형성하기 위한 수단이 제공된다. 상기 측정 장치는 하나의 분광계 라인(72)을 가지는 복수-채널 측정 장치(34)를 가진다. 상기 지지부(8)와 상기 물체(12)의 모서리 영역(10) 사이의 스테이지 높이를 획득하기 위해 반사 스펙트럼에 대한 평가 유닛(32)은 분광계(48) 및 디스플레이 유닛(66)과 함께 작동한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167000139
첨부파일

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