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마스크 블랭크용 기판처리장치, 마스크 블랭크용 기판처리방법, 마스크 블랭크용 기판의 제조방법, 마스크 블랭크의 제조방법 및 전사용 마스크의 제조방법

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기관명	NDSL
출원인	호야 가부시키가이샤
출원번호	10-2015-7014739
출원일자	2015-06-03
공개번호	20150827
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 높은 레벨의 평활성과 저결함 품질을 만족시키도록 마스크 블랭크용 기판을 표면 처리하기 위한 마스크 블랭크용 기판처리장치, 마스크 블랭크용 기판처리방법, 마스크 블랭크용 기판의 제조방법, 마스크 블랭크의 제조방법, 및 전사용 마스크의 제조방법을 제공한다.마스크 블랭크용 기판처리장치(1)는, 기판(Y)을 지지하는 기판지지수단(3)과, 기판(Y)의 주표면에 대향하여 배치되는 촉매면(4a)을 갖는 촉매 정반(4)과, 촉매면(4a)과 주표면을 접촉 또는 접근시킨 상태에서 상대운동시키는 상대운동수단(5)과, 주표면에 CARE용의 제 1 처리유체를 공급하는 제 1 처리유체 공급수단(6)과, 주표면에 부착된 이물을 물리적인 작용을 이용하여 주표면으로부터 제거하는 물리세정수단(7)을 갖는다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157014739
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