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예측 계측 이미지를 이용한 계측 레시피 생성

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기관명	NDSL
출원인	케이엘에이-텐코 코포레이션
출원번호	10-2019-7021116
출원일자	2019-07-18
공개번호	20190801
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	계측 시스템은 계측 툴에 통신 가능하게 결합된 컨트롤러를 포함한다.컨트롤러는 샘플의 3차원 모델을 생성하고, 3차원 모델에 기초해 계측 툴에 의한 샘플의 예측 분석(predicted analysis)에 대응하는 예측 계측 이미지를 생성하며, 하나 이상의 예측 계측 이미지로부터 계측 측정치를 추출하기 위한 2개 이상의 후보 계측 레시피(recipe)를 평가하고, 계측 툴의 구조의 이미지로부터 계측 측정치를 추출하기 위한 2개 이상의 후보 계측 레시피로부터, 하나 이상의 선택 메트릭(selection metrics)에 기초하여, 계측 레시피를 선택하고, 가공 구조(fabricated structure)의 계측 측정에 기초해 계측 툴로부터 가공 구조의 출력 계측 이미지를 수신하며, 계측 레시피에 기초해 출력 계측 이미지로부터의 가공 구조와 연관된 계측 측정치를 추출할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020197021116
첨부파일

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