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특허/실용신안
유전장벽방전용 실리콘-코팅 유전-필름
특허 실용신안 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 출원인 | 광운대학교 산학협력단 |
| 출원번호 | 20-2020-0001775 |
| 출원일자 | 2020-05-27 |
| 공개번호 | 20200709 |
| 공개일자 | 0000-00-00 |
| 등록번호 | |
| 등록일자 | 0000-00-00 |
| 권리구분 | KUUM |
| 초록 | 본 고안은 플라즈마 부식에 강한 유전장벽방전용 유전필름의 제공이다. 폴리머재의 필름 위에 실리콘재를 도포하여 플라즈마 부식에 강하고 기타 화학 용재에도 강한 유연한 박형의 유전필름을 제공한다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUUM&cn=KOR2020200001775 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| IPC분류체계CODE | |
| 주제어 (키워드) |