컴팩트한 앰플 열 관리 시스템
기관명 | NDSL |
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출원인 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 |
출원번호 | 10-2016-7021711 |
출원일자 | 2016-08-09 |
공개번호 | 20160825 |
공개일자 | 0000-00-00 |
등록번호 | |
등록일자 | 0000-00-00 |
권리구분 | KUPA |
초록 | 기판 처리에서 이용하기 위한 프리커서의 열 관리를 위한 장치가 여기에 제공된다.일부 실시예들에서, 기판 처리에서 이용하기 위한 프리커서의 열 관리를 위한 장치는, 액체 또는 고체 프리커서가 내부에 배치되어 있는 저장 컨테이너를 수용하기 위한 크기의 개구를 갖는 바디 - 바디는 열 전도성 재료로 제조됨 - ; 개구 부근에서 바디에 연결된 하나 이상의 열전기 디바이스; 및 하나 이상의 열전기 디바이스에 연결된 히트 싱크를 포함할 수 있다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167021711 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | H01L-021/324,H01L-021/67 |
주제어 (키워드) |