| 초록 |
본 발명의 일태양의 멀티 하전 입자빔 묘화 방법은, 빔의 샷마다, 하전 입자빔에 의한 멀티빔의 각 빔의 조사 시간을 양자화 단위로 나눈 계조치를 미리 설정된 자릿수의 2 진수 데이터로 변환하고, 빔의 1 샷당 최대 조사 시간이, 상술한 자릿수의 2 진수의 각 자리의 값을 각각 10 진수로 정의했을 경우에 상당하는 계조치에 양자화 단위를 곱한 조사 시간으로서 이러한 자릿수 개의 복수의 제1 조사 시간으로 분할되고, 복수의 제1 조사 시간의 일부의 제2 조사 시간이 복수의 제3 조사 시간으로 더 분할된, 복수의 제3 조사 시간으로 분할되지 않은 나머지 복수의 제1 조사 시간을 이용하여, 빔의 샷마다, 당해 빔의 조사를 복수의 제3 조사 시간의 각 조사 단계와 분할되지 않은 나머지 복수의 제1 조사 시간의 각 조사 단계로 분할하고, 적어도 2 개의 조사 시간에 의한 조사 단계의 조합에 의해 구성되는 복수의 그룹이 차례로 계속되도록, 그룹마다 당해 그룹을 구성하는 각 조사 단계의 조사 시간의 빔을 차례로 시료에 조사하는 것을 특징으로 한다. |
