확률론적 방법에 의해 노광될 패턴에 대하여 디콘볼루션을 사용하여 전자 근접 효과를 보정 하기 위한 방법
기관명 | NDSL |
---|---|
출원인 | , |
출원번호 | 10-2014-7008544 |
출원일자 | 2014-03-31 |
공개번호 | 20140620 |
공개일자 | 0000-00-00 |
등록번호 | |
등록일자 | 0000-00-00 |
권리구분 | KUPA |
초록 | 본 발명은 약 수십 나노 미터의 임계 치수의 방사선에 의해 리소그래피 방식으로 적용된다. 본 발명의 방법은 가능한 도스(dose) 변조 및 기하학적 보정의 조합 최적화에 의해 근접 효과 보정을 수행할 수 있다. 따라서 에칭될 패턴의 디콘볼루션(deconvolution)은 조합 확률 분포에 의해 레진(resined) 지지부 방사선의 상호 작용을 모델링하는 반복 절차에 의해 수행된다. 상기 지지 노광 툴이 형성된 빔(formed-beam) 타입인 경우, 바람직하게는, 에칭될 패턴이 대조 수준으로 분할 된 다음 디콘볼루션 이미지가 노광 단계를 수행하기 전에 벡터화되고 파단 된다. 유익한 실시 예에서, 본 발명의 방법은 멀티-패스 세포 투영 방식으로 노광되는 적어도 두 개의 문자 셀에 적용된다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020147008544 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
---|---|
ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | |
주제어 (키워드) |