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얼라인먼트 장치 및 기판 처리 장치

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기관명	NDSL
출원인	도쿄엘렉트론가부시키가이샤
출원번호	10-2015-0130894
출원일자	2015-09-16
공개번호	20160404
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	간이한 구성의 장치에 의해, 웨이퍼의 하면측에 마련되는 얼라인먼트 마크를 정밀도 높게 검출함과 아울러, 웨이퍼의 휘어짐의 상태를 예측할 수 있는 기술을 제공하는 것이다. 웨이퍼의 주연에 걸쳐서 웨이퍼의 직경 방향으로 연장하는 띠 형상의 촬상 영역이 형성되도록 촬상하는 촬상부와, 상기 탑재부를 상기 촬상부에 대해서 승강시키는 승강부와, 제어부를 구비하는 장치를 구성한다.제어부는, 촬상부에 의해 얻어진 웨이퍼의 직경 방향의 휘도 분포 패턴에 있어서 촬상부의 초점이 맞추어져 있을 때의 휘도의 변화율로 되도록 상기 승강부를 제어하는 스텝과, 휘어짐이 없는 표준 웨이퍼에 대해서 초점이 맞추어져 있을 때의 촬상부의 상대 높이 위치에 대한 촬상부의 상대 승강량에 근거하여 웨이퍼의 휘어짐의 상태를 예측하는 스텝과, 상기 탑재부를 회전시켜 상기 촬상부에 의해 웨이퍼의 얼라인먼트 마크를 검출하는 스텝을 실행한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020150130894
첨부파일

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