| 기업공감원스톱서비스

방사선 소스, 계측 장치, 리소그래피 시스템 및 디바이스 제조 방법

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
출원번호	10-2016-7018149
출원일자	2016-07-06
공개번호	20160811
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	방사선 소스 장치는, 드라이빙 방사선에 의한 기체 매질의 여기에 후속하여 플라즈마 방출 방사선을 방출하는 플라즈마가 발생되는 기체 매질을 격납하기 위한 공간을 규정하기 위한 벽을 포함하는 컨테이너, 및 벽에서의 응력을 줄이기 위해 컨테이너의 벽 중 적어도 일부에 열 부하를 가하도록 되어 있는 열 부하 애플리케이터를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167018149
첨부파일

기업조회