| 기업공감원스톱서비스

대면적 전계방출원 장치에의 전자 방출원의 균일 방출 검사 방법

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	씨이비티 주식회사
출원번호	10-2016-0085347
출원일자	2016-07-06
공개번호	20160721
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 CNT를 포함하는 나노 구조물을 전자 방출원으로 사용하며, 상기 전자 방출원이 음극 컨덕터에 다수의 어레이 형태로 배열되고, 그리고 상기 전자 방출원에 대응하는 다수의 게이트 또는 렌즈를 포함하는 대면적 전계방출원 장치의 전자들이 균일하게 방출되는지 여부를 검사하는 방법에 관한 것이다. 이와 같은 방법을 수행하기 위하여, 본 발명은 상기 전자 방출원이 음극 컨덕터에 배열된 상태에서 상기 전자 방출원에 전자빔을 주사하는 단계; 상기 주사된 전자빔의 전자들이 상기 전자 방출원에 부딪혀서 나온 전자들을 검출하거나 또는 상기 주사된 전자빔의 전자들을 상기 전자 방출원에서 직접 검출하는 단계; 그리고 상기 검출된 전자들의 양의 균일도를 검사하거나 또는 상기 검출된 전자들로부터 이미지를 만들어 밝기들의 균일도를 검사하는 단계; 를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160085347
첨부파일

기업조회