| 초록 |
본 발명은 두 개의 사전 진공 처리 장치와 진공 이송 장치를 포함하는 실리콘 웨이퍼의 이동 장치를 개시하며, 진공 이송 장치는 진공 상태에서 사전 진공 처리 장치와 공정 처리 장치 사이에서 실리콘 웨이퍼를 이송하는 데 사용되고, 진공 이송 장치는 진공 이송 챔버, 두 개의 이송 로봇 및 턴테이블을 포함하며, 두 개의 이송 로봇에는 두 개의 독립적으로 작동 가능한 매니퓰레이터를 구비하고, 두 개의 매니퓰레이터의 질서있는 협력을 통해 하나의 이송 로봇을 사용하여 동일한 작업 스테이션에서의 실리콘 웨이퍼의 교환을 수행하며, 하나의 이송 로봇이 사전 진공 처리 장치와 턴테이블 사이에서 웨이퍼를 이송하는 동안 다른 하나의 이송 로봇은 턴테이블과 공정 처리 장치 사이에서 실리콘 웨이퍼를 이송한다. 두 개의 독립적으로 동작 가능한 매니퓰레이터를 구비한 이송 로봇을 사용하여 동일한 작업 스테이션에서 실리콘 웨이퍼를 교환하는 기술을 통해, 다중 자유도를 가진 두 개의 매니퓰레이터를 결합하여, 실리콘 웨이퍼 이송을 고속으로 수행할 수 있고 전체 생산 능력을 향상시킬 수 있다. |
