| 기업공감원스톱서비스

샘플의 결함 검출 및 광루미네선스 측정을 위한 시스템 및 방법

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	케이엘에이-텐코 코포레이션
출원번호	10-2016-7002039
출원일자	2016-01-22
공개번호	20160311
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	샘플의 결함 검출 및 광루미네선스 측정은, 경사 조명 파장 광의 빔을 샘플의 부분 상으로 보내고, 샘플의 하나 이상의 광루미네선스 결함들이 광루미네선스 광을 샘플의 부분 상으로 방출하게 하기 위한 수직 조명 파장 광의 빔을 보내고, 샘플로부터의 결함 산란된 방사선 또는 광루미네선스 방사선을 수집하고, 샘플로부터의 방사선을 가시광 스펙트럼에서의 방사선의 제 1 부분, 수직 조명 파장 광을 포함하는 방사선의 제 2 부분, 및 경사 조명 파장 광을 포함하는 방사선의 적어도 제 3 부분으로 분리하고, 방사선의 제 1 부분, 제 2 부분, 또는 제 3 부분의 하나 이상의 특징들을 측정하고, 방사선의 제 1 부분, 제 2 부분, 또는 제 3 부분의 측정된 하나 이상의 특징들에 기초하여 하나 이상의 광루미네선스 결함들 또는 하나 이상의 산란 결함들을 검출한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167002039
첨부파일

기업조회