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접근이 용이한 램프헤드

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기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2016-7016264
출원일자	2016-06-17
공개번호	20160728
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 명세서에 설명된 실시예들은 일반적으로 열 처리 챔버에서 이용되는 램프헤드 어셈블리를 위한 개선된 전력 분배 어셈블리에 관한 것이다.일 실시예에서, 램프헤드 어셈블리는 반도체 기판들의 열 처리를 위한 복수의 램프, 및 복수의 개구를 갖는 전력 분배 어셈블리를 포함하고, 전력 분배 어셈블리는 복수의 램프에 전력을 제공하고, 각각의 개구는 이 개구를 통한 램프의 통과를 허용하는 크기를 갖는다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167016264
첨부파일

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