포지티브형 감광성 수지 조성물, 그것을 이용한 막의 제조 방법 및 전자 부품
기관명 | NDSL |
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출원인 | 샌트랄 글래스 컴퍼니 리미티드 |
출원번호 | 10-2016-7014457 |
출원일자 | 2016-05-30 |
공개번호 | 20160707 |
공개일자 | 0000-00-00 |
등록번호 | |
등록일자 | 0000-00-00 |
권리구분 | KUPA |
초록 | 본 발명의 포지티브형 감광성 수지 조성물은, (A) 일반식 (1)로 나타나는 구조 단위를 적어도 포함하는 폴리실록산 화합물, (B) 광산 발생제 또는 퀴논디아지드 화합물, 및 (C) 용제를 적어도 포함한다. [화학식 33] [식 중, R X 는 하기식으로 나타나는 기이며, R 1 은 각각 독립적으로, 수소 원자, 탄소수 1 이상 3 이하의 알킬기, 페닐기, 히드록시기, 탄소수 1 이상 3 이하의 알콕시기 또는 탄소수 1 이상 3 이하의 플루오로알킬기이며, b는 1∼3, m은 0∼2, n은 1∼3의 정수이며, b+m+n=4이다. [화학식 34] (X는 각각 독립적으로, 수소 원자 또는 산불안정성기이며, a는 1∼5의 정수이다.)] 이 포지티브형 감광성 수지 조성물의 사용에 의해, 높은 내열성과 내열 투명성을 갖는 막 및 그 막을 갖는 전자 부품을 제공할 수 있다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167014457 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | G03F-007/022,G02F-001/1333,G03F-007/004,G03F-007/039,G03F-007/20,G06F-003/041,H01L-051/52 |
주제어 (키워드) |