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캘리브레이션 가능한 빔 성형 시스템 및 방법

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기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티리얼즈 이스라엘 리미티드
출원번호	10-2017-0049268
출원일자	2017-04-17
공개번호	20170427
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	빔 성형을 그에 입사하는 광에 순차적으로 적용하기 위해 시스템을 통한 광의 광로에서 간격을 두고 떨어진 관계로 수용되는 제 1 및 제 2 광학 모듈들을 포함하는 빔 성형 시스템이 개시된다.빔 성형 시스템은 제 1 및 제 2 광학 모듈들을 각각 운반하는 제 1 및 제 2 정렬 모듈들을 포함하고, 광로에 대하여 광학 모듈들을 가로로 위치시키도록 동작 가능하다.빔 성형 시스템의 캘리브레이션 모듈은 제 1 및 제 2 정렬 모듈들에 연결 가능하고 광로에 대하여 제 1 및 제 2 광학 모듈들의 각각의 가로 위치들을 순차적으로 캘리브레이션 및 정렬하도록 동작 가능하다.시스템은 그에 의해 주어진 미리 결정된 파면 및 가로 세기 분포의 인입 광 빔의 성형이 원하는 파면 및 원하는 가로 세기 분포를 갖는 출력 광 빔을 형성할 수 있게 한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020170049268
첨부파일

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