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가스 관리 시스템

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	사이머 엘엘씨
출원번호	10-2020-7023619
출원일자	2020-08-14
공개번호	20200827
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	가스 리사이클 시스템은 가스 정제기 시스템; 가스 분석 시스템; 리사이클된 가스 혼합물을 준비하는 가스 블렌딩 시스템; 및 제어 시스템을 포함하며, 제어 시스템은 적어도 하나의 의도된 가스 성분의 측정량이 허용 가능한 값의 제1 범위 내에 있는지 여부를 결정하도록; 및 적어도 하나의 불순물 가스 성분의 측정량이 허용 가능한 값의 제2 범위 내에 있는지 여부를 결정하도록 구성된다. 하나 이상의 의도된 가스 성분의 측정량이 허용 가능한 값의 제1 범위 내에 있지 않으면, 제어 시스템은 가스 블렌딩 시스템으로 하여금 부가적인 가스 성분을 정제된 가스 혼합물에 추가하도록 하여 리사이클된 가스 혼합물을 준비하며; 그리고 적어도 하나의 불순물 가스의 측정량이 허용 가능한 값의 제2 범위 내에 있지 않으면, 제어 시스템은 오차 신호를 생성한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020207023619
첨부파일

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