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특허/실용신안

플라즈마 처리 장치

특허 실용신안 개요

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명 NDSL
출원인 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
출원번호 10-2022-0060053
출원일자 2022-05-17
공개번호 20221130
공개일자 0000-00-00
등록번호
등록일자 0000-00-00
권리구분 KUPA
초록 [과제] 지자기를 포함한 환경 자장 및 다른 장치로부터의 자기를 차폐할 수 있는 플라즈마 처리 장치를 제공한다.[해결 수단] 플라즈마 처리 장치는, 벽이, 알루미늄보다 높은 투자율을 갖는 재료로부터 구성되는 층을 포함한 다층 구조인 플라즈마 처리 용기와, 플라즈마 처리 용기의 벽에 설치되고, 기판을 플라즈마 처리 용기 내에 반입·반출하는 반입·반출구와, 플라즈마 처리 용기 내에 배치되는 기판 지지부를 포함한다.
원문URL http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020220060053
첨부파일

추가정보

과학기술표준분류, ICT 기술분류, IPC분류체계CODE, 주제어 (키워드) 순으로 구성된 표입니다.
과학기술표준분류
ICT 기술분류
IPC분류체계CODE
주제어 (키워드)