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하전 입자 빔 장치

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 히다치 하이테크 사이언스
출원번호	10-2015-0019981
출원일자	2015-02-10
공개번호	20150827
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	(과제) 조작자가 하전 입자 빔에 의한 관찰 이미지를 시인하면서 니들을 이동시킬 때의 조작성을 향상시킨다. (해결 수단) 하전 입자 빔 장치 (10) 는, 집속 이온 빔 경통 (14) 과, 전자 빔 경통 (15) 과, 니들 (18) 과, 니들 구동 기구 (19) 와, 표시 장치 (20) 와, 제어부 (21) 를 구비한다. 표시 장치 (20) 는, 하전 입자 빔의 조사에 의해 생성된 화상 데이터를 표시한다. 제어부 (21) 는 입력 디바이스 (22) 에 대한 조작자의 조작 입력에 따라 화상 데이터 상에 있어서의 니들 (18) 의 목표 위치를 설정한다. 제어부 (21) 는 입력 디바이스 (22) 에 의해 설정된 목표 위치에 따라 니들 구동 기구 (19) 에 의한 니들 (18) 의 구동을 제어하여, 목표 위치의 변화에 추종하여 니들 (18) 을 이동시킨다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020150019981
첨부파일

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