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제조 공정들을 학습하고/하거나 최적화하기 위한 시스템 및 방법

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기관명	NDSL
출원인	도쿄엘렉트론가부시키가이샤
출원번호	10-2016-7017792
출원일자	2016-07-01
공개번호	20160811
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	반도체 제조에 관한 공정들을 학습하고/학습하거나 최적화하기 위한 시스템 및 방법이 제공된다.학습 컴포넌트는 하나 이상의 제조 툴들과 연관된 공정 데이터에 기초하여 후보 공정 모델들의 세트를 생성한다.학습 컴포넌트는 또한 후보 공정 모델들의 세트로부터 최저 오차와 연관된 특정 공정 모델을 선택한다.최적화 컴포넌트는 특정 공정 모델과 연관된 후보 솔루션들의 세트를 생성한다.최적화 컴포넌트는 또한 후보 솔루션들의 세트로부터, 타겟 출력값 및 특정 솔루션과 연관된 출력값에 기초하여, 상기 특정 솔루션을 선택한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167017792
첨부파일

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